研究テーマ（シーズ3）
大気圧プラズマの発生と応用

研究の技術分野	機械　電気・電子　情報・通信　金属・材料　化学・化工　医療・福祉　ナノテクノロジー
研究の段階・状況	A1　実用化・製品化まであと一歩
キーワード	大気圧プラズマ　表面処理　粉体処理　マルチグライディングアーク　プラズマジェット
提案者	滝川　浩史　　電気・電子情報工学系
連絡先	Tel :0532-44-6727 Fax :0532-44-6727 E-mail:takikawa@ee.tut.ac.jp URL :http://www.arc.ee.tut.ac.jp

大気圧プラズマ表面処理装置の開発　（業種業界：印刷，半導体製造・組立，自動車，医療，環境，他）
(1)マルチグライディングアーク
◎対象物：大面積ガラス，プラスチックフィルム，金属板，半導体基板
◎目的：洗浄，塗装前処置，印刷前処理
(2)PENジェット（Plasma ENergized Jet）
◎対象物：ガラス，プラスチック，金属，半導体基板の表面および孔
◎目的：!)@の目的に加え，エッチング・アッシングなど。
【特徴】これまでの大気圧プラズマにはない！
・温度: 室温縲恊舶S℃の範囲の任意温度の利用可能
・どんなガス（液体）でもプラズマ化（He，Arなど不要。室内空気で十分。もちろん特殊ガス利用可）
・大気圧でスタート可能
・熱，イオン，ラジカルの同時発生
【背景技術】
・一入力多出力特殊電源の開発
・用途にマッチしたプラズマ発生部の設計

主要な研究設備等

大気圧プラズマ装置
　・グレイディングアークシステム
　・PENジェットシステム
　・バリア放電システム

基本となる特許・解説記事・研究論文等

特願2004-102452 パルスアークプラズマ生成用電源回路及びパルスアークプラズマ処理装置
H. Saito, et al.:“Removal of machine oil from metal surface by mesoplasma jet under open atmosphere”, Japanese Journal of Applied Physics 48, 08HH03 (2009)
H. Shiki, :“Fundamental properties of 4-in-1 Plasma ENergized-Jet at atmospheric pressure”, Vacuum, Vol.83, pp.29-33 (2008)

実施可能な共同研究の形態

共同研究の実施形態　　　　　　　　　　:大学と企業の両方で実施
大学への研究員等の受入　　　　　　　　:可能
企業への専門家等の派遣（不定期を含む）:可能

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