滝川 浩史（たきかわ ひろふみ）
| 所属 | 電気・電子情報工学系 |
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| 兼務 | 先端農業・バイオリサーチセンター 安全安心地域共創リサーチセンター 研究推進アドミニストレーションセンター |
| 職名 | 教授 |
| 専門分野 | プラズマ応用工学 / 薄膜/ナノ材料合成・表面処理 / 再生可能エネルギー |
| 学位 | 博士（工学）（豊橋技術科学大学） |
| 所属学会 | 電気学会 / 応用物理学会 / フラーレン・ナノチューブ研究会 / プラズマ応用科学会 / カーボンマイクロコイル研究会 / プラズマイオンフォーラム / 日本太陽エネルギー学会 / 日本真空協会 / ニューダイヤモンドフォーラム |
| takikawa@ee ※アドレスの末尾に「.tut.ac.jp」を補完してください |
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| 研究室web | http://www.pes.ee.tut.ac.jp/ |
| 研究者情報（researchmap） | 研究者情報 |
研究テーマ（シーズ3）
大気圧プラズマの発生と応用
| 研究の技術分野 | 機械 電気・電子 情報・通信 金属・材料 化学・化工 医療・福祉 ナノテクノロジー |
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| 研究の段階・状況 | A1 実用化・製品化まであと一歩 |
| キーワード | 大気圧プラズマ 表面処理 粉体処理 マルチグライディングアーク プラズマジェット |
| 提案者 | 滝川 浩史 電気・電子情報工学系 |
| 連絡先 | Tel :0532-44-6727 Fax :0532-44-6727 E-mail:takikawa@ee.tut.ac.jp URL :http://www.arc.ee.tut.ac.jp |
大気圧プラズマ表面処理装置の開発 （業種業界：印刷，半導体製造・組立，自動車，医療，環境，他）
(1)マルチグライディングアーク
◎対象物：大面積ガラス，プラスチックフィルム，金属板，半導体基板
◎目的：洗浄，塗装前処置，印刷前処理
(2)PENジェット（Plasma ENergized Jet）
◎対象物：ガラス，プラスチック，金属，半導体基板の表面および孔
◎目的：!)@の目的に加え，エッチング・アッシングなど。
【特徴】これまでの大気圧プラズマにはない！
・温度: 室温縲恊舶S℃の範囲の任意温度の利用可能
・どんなガス（液体）でもプラズマ化（He，Arなど不要。室内空気で十分。もちろん特殊ガス利用可）
・大気圧でスタート可能
・熱，イオン，ラジカルの同時発生
【背景技術】
・一入力多出力特殊電源の開発
・用途にマッチしたプラズマ発生部の設計
主要な研究設備等
大気圧プラズマ装置
・グレイディングアークシステム
・PENジェットシステム
・バリア放電システム
基本となる特許・解説記事・研究論文等
特願2004-102452 パルスアークプラズマ生成用電源回路及びパルスアークプラズマ処理装置
H. Saito, et al.:“Removal of machine oil from metal surface by mesoplasma jet under open atmosphere”, Japanese Journal of Applied Physics 48, 08HH03 (2009)
H. Shiki, :“Fundamental properties of 4-in-1 Plasma ENergized-Jet at atmospheric pressure”, Vacuum, Vol.83, pp.29-33 (2008)
実施可能な共同研究の形態
共同研究の実施形態 :大学と企業の両方で実施
大学への研究員等の受入 :可能
企業への専門家等の派遣（不定期を含む）:可能