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ホーム > 学部・大学院 > 教員紹介 > 電気・電子情報工学系 > 滝川 浩史(たきかわ ひろふみ)

滝川 浩史(たきかわ ひろふみ)

所属 電気・電子情報工学系
兼務 先端農業・バイオリサーチセンター
安全安心地域共創リサーチセンター
教育研究基盤センター
未来ビークルシティリサーチセンター
研究推進アドミニストレーションセンター
職名 教授/学長特別補佐(基金・卒業生連携担当)/教育研究基盤センター長
専門分野 プラズマ応用工学 / 薄膜/ナノ材料合成・表面処理 / 再生可能エネルギー
学位 博士(工学)(豊橋技術科学大学)
所属学会 電気学会 / 応用物理学会 / フラーレン・ナノチューブ研究会 / プラズマ応用科学会 / カーボンマイクロコイル研究会 / プラズマイオンフォーラム / 日本太陽エネルギー学会 / 日本真空協会 / ニューダイヤモンドフォーラム
E-mail takikawa@ee
※アドレスの末尾に「.tut.ac.jp」を補完してください
研究室web http://www.pes.ee.tut.ac.jp/
研究者情報(researchmap) 研究者情報

研究テーマ(シーズ3)
大気圧プラズマの発生と応用

研究の技術分野 機械 電気・電子 情報・通信 金属・材料 化学・化工 医療・福祉 ナノテクノロジー
研究の段階・状況 A1 実用化・製品化まであと一歩
キーワード 大気圧プラズマ 表面処理 粉体処理 マルチグライディングアーク プラズマジェット
提案者 滝川 浩史  電気・電子情報工学系
連絡先 Tel :0532-44-6727
Fax :0532-44-6727
E-mail:takikawa@ee.tut.ac.jp
URL :http://www.arc.ee.tut.ac.jp

大気圧プラズマ表面処理装置の開発 (業種業界:印刷,半導体製造・組立,自動車,医療,環境,他)
(1)マルチグライディングアーク
◎対象物:大面積ガラス,プラスチックフィルム,金属板,半導体基板
◎目的:洗浄,塗装前処置,印刷前処理
(2)PENジェット(Plasma ENergized Jet)
◎対象物:ガラス,プラスチック,金属,半導体基板の表面および孔
◎目的:!)@の目的に加え,エッチング・アッシングなど。
【特徴】これまでの大気圧プラズマにはない!
・温度: 室温縲恊舶S℃の範囲の任意温度の利用可能
・どんなガス(液体)でもプラズマ化(He,Arなど不要。室内空気で十分。もちろん特殊ガス利用可)
・大気圧でスタート可能
・熱,イオン,ラジカルの同時発生
【背景技術】
・一入力多出力特殊電源の開発
・用途にマッチしたプラズマ発生部の設計

主要な研究設備等

大気圧プラズマ装置
 ・グレイディングアークシステム
 ・PENジェットシステム
 ・バリア放電システム

基本となる特許・開設記事・研究論文等

特願2004-102452 パルスアークプラズマ生成用電源回路及びパルスアークプラズマ処理装置
H. Saito, et al.:“Removal of machine oil from metal surface by mesoplasma jet under open atmosphere”, Japanese Journal of Applied Physics 48, 08HH03 (2009)
H. Shiki, :“Fundamental properties of 4-in-1 Plasma ENergized-Jet at atmospheric pressure”, Vacuum, Vol.83, pp.29-33 (2008)

実施可能な共同研究の形態

共同研究の実施形態          :大学と企業の両方で実施
大学への研究員等の受入        :可能
企業への専門家等の派遣(不定期を含む):可能


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