滝川 浩史（たきかわ ひろふみ）
| 所属 | 電気・電子情報工学系 |
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| 兼務 | 先端農業・バイオリサーチセンター 安全安心地域共創リサーチセンター |
| 職名 | 教授 |
| 専門分野 | プラズマ応用工学 / 薄膜/ナノ材料合成・表面処理 / 再生可能エネルギー |
| 学位 | 博士（工学）（豊橋技術科学大学） |
| 所属学会 | 電気学会 / 応用物理学会 / フラーレン・ナノチューブ研究会 / プラズマ応用科学会 / カーボンマイクロコイル研究会 / プラズマイオンフォーラム / 日本太陽エネルギー学会 / 日本真空協会 / ニューダイヤモンドフォーラム |
| takikawa@ee ※アドレスの末尾に「.tut.ac.jp」を補完してください |
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| 研究室web | http://www.pes.ee.tut.ac.jp/ |
| 研究者情報（researchmap） | 研究者情報 |
研究テーマ（シーズ2）
ダイヤモンドライクカーボン膜
| 研究の技術分野 | 機械 電気・電子 金属・材料 化学・化工 医療・福祉 ナノテクノロジー |
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| 研究の段階・状況 | A1 実用化・製品化まであと一歩 |
| キーワード | ダイヤモンドライクカーボン（DLC） 水素フリーDLC 耐磨耗性膜・高摺動性膜 ガスバリア膜 耐食膜 |
| 提案者 | 滝川 浩史 電気・電子情報工学系 |
| 連絡先 | Tel :0532-44-6727 Fax :0532-44-6727 E-mail:takikawa@ee.tut.ac.jp URL :http://www.arc.ee.tut.ac.jp |
★ダイヤモンドライクカーボン（Diamond-Like Carbon; DLC)
■DLCの特徴
・機械的特性（トライボロジー）：高硬度・耐磨耗性・高摺動性・平滑性
・赤外線透過性
・化学的安定性
・電気導電性縲恊竕署ｫ
・耐熱性
＜応用先＞ 金型の離型性改善，凝着防止，ガス透過防止，電子放出素子
■水素が混じっているかどうかで特性は変化！
水素フリーDLC： スーパーハード・緻密・高摺動・相手攻撃性低い
水素入りDLC： 透明性有り
■T-FADによるDLC合成： 水素入り，水素フリーのチョイス可。ゴム・樹脂への成膜可。低温成膜。
主要な研究設備等
T字状フィルタードアーク蒸着装置
基本となる特許・解説記事・研究論文等
特許第3865570号 プラズマ加工法
特許第4424555号 ＤＬＣ被覆工具
H. Takikawa, H. Tanoue: “Review of cathodic arc deposition for preparing droplet-free thin films”, IEEE Transactions on Plasma Science, Vol.35, No.4, pp.992-999 (2007)
H. Tanoue, et al.: “Argon-dominated plasma beam generated by filtered vacuum arc and its substrate etching”, Applied Surface Science，Vol.255，pp.7780-7785 (2009)
実施可能な共同研究の形態
共同研究の実施形態 :大学と企業の両方で実施
大学への研究員等の受入 :可能
企業への専門家等の派遣（不定期を含む）:可能