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滝川 浩史(たきかわ ひろふみ)

所属 電気・電子情報工学系
兼務 安全安心地域共創リサーチセンター
教育研究基盤センター
未来ビークルシティリサーチセンター
研究推進アドミニストレーションセンター
職名 教授/電気・電子情報工学系長/電気・電子情報工学専攻主任/教育研究基盤センター長/研究推進アドミニストレーションセンター(RAC)技術科学支援室長/技術支援室長
専門分野 プラズマ応用工学 / 薄膜/ナノ材料合成・表面処理 / 再生可能エネルギー
学位 博士(工学)(豊橋技術科学大学)
所属学会 電気学会 / 応用物理学会 / フラーレン・ナノチューブ研究会 / プラズマ応用科学会 / カーボンマイクロコイル研究会 / プラズマイオンフォーラム / 日本太陽エネルギー学会 / 日本真空協会 / ニューダイヤモンドフォーラム
E-mail takikawa@ee
※アドレスの末尾に「.tut.ac.jp」を補完してください
研究室web http://www.pes.ee.tut.ac.jp/

研究紹介

(1) リアルイオンプレーティング装置の開発と薄膜合成: 真空アークプラズマを用いた次世代イオンプレーティング装置を開発。ハードコート・機能性薄膜,特に,ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜合成に好適。

テーマ1:高機能真空アーク蒸着装置の開発と機能性薄膜の合成

概要
図1 フィルタードアーク蒸着装置 (X-FAD & Y-FAD)と 成膜例(チップ,エンドミル,精密金型)

真空中のアーク放電プラズマから得られる高エネルギーのイオンを用いた薄膜形成装置の実用化開発と機能性薄膜の開発を進めている。同装置の特徴の一つは,ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜の中でも,他の方法では形成できない水素フリーテトラヘドラルアモルファスカーボン(ta-C)を形成できることである。ta-Cは,超硬密度でかつ超平坦であり,HDDの保護膜,アルミ用ドライ切削工具の保護膜,高温耐久精密金型,自動車部品の摺動膜への利用が可能である。また,窒化物や酸化物機能性膜も形成できる。中でも,超高温耐酸化性薄膜(多元素窒化物,TiAlSiNなど)の開発を進めている。

キーワード

フィルタードアーク蒸着装置(装置3種:T-FAD, Y-FAD, X-FAD),ダイヤモンドライクカーボン(DLC),窒化物・酸化物機能性薄膜

テーマ2:ナノカーボンの合成と応用

概要
図2 ナノカーボンと応用例

カーボンナノチューブ,ナノホーン,ヘリカルナノファイバ(ナノコイル,ナノツイスト)を,高温のアーク放電法や触媒CVD法によって合成する技術および装置の開発を行っている。また,作製したナノカーボンを利用して,次世代平面型ディスプレイの電子放出素子への適用研究,次世代エネルギーデバイスである燃料電池やスーパーキャパシタの大容量化電極への応用に関する基礎研究および開発研究などを進めている。

キーワード

カーボンナノホーン,ヘリカルカーボンナノファイバ,電界電子放出素子,燃料電池・スーパーキャパシタ電極

テーマ3:大気圧プラズマ装置の開発と応用

概要
図3 大気圧メゾプラズマ

パルスアーク放電を用いた大気圧メゾプラズマ発生装置を開発している。メゾプラズマとは,従来の低温プラズマと熱プラズマとの中間の温度を発生する非平衡プラズマであり,グライディングアークとペンジェットの2タイプの装置の開発を進めている。また,メゾプラズマを複数同時に発生させる電源を開発した。これらのプラズマを用いて,接着・塗装前処理などの表面クリーニング技術に関する研究を進めている。

キーワード

大気圧メゾプラズマ,パルスアーク,表面クリーニング

担当授業科目名(科目コード)

理工学実験 / 電離気体論 / エネルギー変換工学 (132072) / プラズマ応用工学特論 ( 232043)

その他(受賞、学会役員等)

太陽・風力等の自然エネルギーやコージェネレーションシステムなどのクリーンエネルギーの創生と運用に関する研究(以下,例)
・気象予測に基づく発電や需要の解析と予測
・省エネシステムの最適設計/運転支援ソフトの開発
・太陽電池の有効利用
・未来自動車社会を支える次世代エネルギー供給システムプランニング


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