豊橋技術科学大学、長岡技術科学大学、国立高等専門学校の研究シーズが結集した横断的に検索可能なサイトです。

未来の機能性素子を創ります

無機有機ハイブリッド膜の微細パターニングへの応用

ステータス基礎実証実用化準備

概要

物性や形状を制御した機能性薄膜・微粒子の作製とその集積化プロセスは、将来の光機能素子、化学センサなどを構築する上で重要な技術です。機能性薄膜・微粒子の作製方法には、機械的手法、気相法，液相法などがありますが、液相法の一つであるゾル- ゲル法によれば、ガラス、セラミックスに加えて、無機─有機複合体薄膜・微粒子を作製することができます。

研究キーワード

従来技術

・真空成膜技術
・フォトリソグラフィー
・ダイレクトエッチング

優位性

・大面積化が容易です。
・装置の低コスト化が図れます。
・複雑形状が作製できます。

特徴

無機-有機ハイブリッドゲル膜に型プレスを行い、型形状を転写するエンボス式微細加工法を用いて、回折格子、マイクロレンズアレイなどを基板上に作製することに成功しています。
ハイブリッドの有機官能基の種類と濃度を最適化することにより、フォトリソグラフィーを可能にしたり、微細パターンの収縮率を低減したり、光透過率や屈折率などの光学性能や硬度などの力学物性を制御することを検討しています。
メモリーデバイス、表示デバイス、通信微小光学素子、センサなどへの応用が期待されます。