選択Vapor-liquid-solid（VLS）成長法は、集積回路上に微細なシリコン針状結晶体を成長できる。この方法を用いると、直径数ミクロン、長さ数百ミクロン以上の生体刺入型のプローブが実現できる。本研究では、この電極技術を神経電位記録用として提案してしている。この電極技術を用いると、これまで困難であった、低侵襲、高い空間分解能を有する神経電位分布記録が可能となる。プローブ電極と同様に、VLS法を用いた直径数ミクロンのチューブデバイスをDrug delivery system(DDS)としても提案している。実際の生理実験においては、鯉の網膜の光応答記録（中京大学　石原先生、理研　臼井先生との共同）、ラット末梢神経からの神経電位記録、局所薬液投与による神経ブロック（産総研　金子主任研究員、元機械工学系　川島先生との共同）を実証してきた。

ガラス電極を代表とする細胞内用プローブの電気生理学、神経科学分野における貢献は多大である。本研究では、ナノ形状シリコンを用いた直径10ナノ～50ナノメートルの細胞内用プローブを提案している。ガラス電極と比較し侵襲度が低く、長期の細胞刺入実験、ナノスケール細胞測定を可能とする。

ナノテクノロジーの研究により、多くのナノ材料の諸特性が明らかになってきた。次のフェーズであるナノデバイス製作技術を、これまで成熟してきた集積回路・MEMS技術からアプローチする。MEMSマイクロヒータを用いて単一のカーボンナノチューブを集積化し、更にナノチューブ自体のジュール効果を利用することで、ガスの圧力（10^2～10^5Pa）、ガスの種類（酸素/窒素）をセンシングできることを初めて実証してきた（UC Berkeley　Prof. Linとの共同）。