豊橋技術科学大学五十年史

無料で使える研究環境とする 2)当時の LSI 集積度競争(微細加工)には乗らず集積化センサの研究開発に特化し、それを持って CMOS-LSI が自 らすべて作れる知見、設備群を維持する この方針が代々引き継がれており、現在約 100 台の半導体製造設備が整備・維持され、汎用の CMOS-LSI(~ 10 万 Tr)を設計からプロセス、実装、評価まで一貫して自前で行える稀有な研究・教育環境を有している。近年、半導体 開発競争の再激化、人材争奪の中で、豊橋技科大 IRES2 が産官学金の各分野から多くの注目を集め、これらの状況の 中で学長が進める「開かれた産学連携共創拠点」構想に基づき、従来の 3 施設に加え、2025 年に新たな拠点 2 棟が竣 工した。 IRES2-1 本部 (旧EIIRIS棟) IRES2-2 研究棟 (旧 VBL) IRES2-3 ライフサイエンスラボ IRES2-4 LSI 棟 (新設) 延べ床面積 約 2000 m2、200 mmウエハプロセス可能 産学共創活動の拠点 IRES2-5 オープンラボ棟 (新設) 企業向け個室研究室12室完備 共創スペース設置 ẚ㢮࡞ ࡁ ≉㛗 IRES2-4 LSI棟 IRES2-5 オープンラボ棟 IRES2 では、これらの研究開発環境を利用して、設計から評価・実装まで半導体製造のすべてをワンストップで提供 する、「プロセスインテグレーションサービス」も提供している。高い専門性を有する技術スタッフが全設備の保守・ 管理・運用に関する情報を集約し一元管理しており、内外の利用者に対して、利用装置とプロセスをトータルでコーディ ネイト、デバイス・回路設計、プロセス構築~ウエハ試作、評価後のフィードバックまでを完全サポートする体制を整 えており、これにより学学連携、産学官連携を加速させている。 130 豊橋技術科学大学五十年史

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