若原　昭浩（わかはら　あきひろ）

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所属	電気・電子情報工学系
兼務	エレクトロニクス先端融合研究所 テーラーメイド・バトンゾーン教育推進本部 リーディング大学院教育推進機構 国際教育センター
職名	教授／系長
専門分野	半導体工学 / 光電子工学 / 結晶成長
学位	工学博士(豊橋技術科学大学）
所属学会	応用物理学会 / 電子情報通信学会 / 日本結晶成長学会 / 日本MRS
E-mail	wakahara@ee ※アドレスの末尾に「.tut.ac.jp」を補完してください
研究室web	http://www.int.ee.tut.ac.jp/oeg
研究者情報リンク	研究者情報

研究テーマ（シーズ3）
酸化亜鉛系透明導電膜の形成と素子応用

酸化亜鉛系の半導体は，
(1)安価で資源埋蔵量が豊富、環境に優しい
(2)直接遷移型のワイドギャップ半導体で，可視光を透過する透明な半導体
(3)AlやGaなどの不純物を添加すると電気抵抗が大きく変化する。
等の特徴を有し，高価なインジウム(In)を含むITOに代わる新しい透明導電膜として期待されている。
本研究の主な成果は，
(1)良好な電気的特性をもつ酸化亜鉛系薄膜を低温で形成可能。
(2)電気伝導性を保ちつつ透過波長域を広げることが可能。
(3)低温形成できるので，ポリイミドやペット等のフレキシブルな基板上を利用可能。
本手法の応用例としては，
○ディスプレイ
○シースルーな電子回路
○太陽電池用の透明電極

　

主要な研究設備等

高周波スパッタ装置（プラズマを用いて薄膜を形成する）
有機金属気相成長装置（有機金属原料をもちいて，高品質な半導体薄膜を形成する）
光励起発光スペクトル評価装置(半導体の発光性能を極低温から室温の範囲で評価する）
Hall効果測定装置(Hall効果を利用して，半導体の電気的特性を評価する）

基本となる特許・開設記事・研究論文等

K. J. Suh, H. Kinoshita, H. Okada, A. Wakahara and A. Yoshida，Transparent conducting ZnO films on polymer substrates by pulsed laser deposition，Key Engineering Materials，Vol.270，pp.878-883，(2004)
A. V. Singh, R. M. Mehra, A. Wakahara and A. Yoshida，p-type conduction in codoped ZnO thin films，J. Appl. Phys.，Vol.93，pp.396-399，(2003)
M. Kumar, R. M. Mehra, A. Wakahara, M. Ishida and A. Yoshida，Epitaxial growth of high quality ZnO:Al film on Si with a thin g-Al2O3 buffer layer，J. Appl. Phys.，Vol.93，pp.3837-3843，(2003)

実施可能な共同研究の形態

共同研究の実施形態　　　　　　　　　　:大学と企業の両方で実施
大学への研究員等の受入　　　　　　　　:可能
企業への専門家等の派遣（不定期を含む）:不可能

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