豊橋技術科学大学五十年史

2.技術支援室の各チームの紹介 技術支援室内の 5 つのチームの具体的な業務を紹介する。 【先端融合研究支援チーム】 次世代半導体・センサ科学研究所(IRES²)の LSI 工場および実験室における共用設備・機器の維持管理、半導体デ バイスの試作支援、講習会の開催等を行っている。 2025 年 3 月に新しく約 2,000m² のクリーンルーム(IRES²-4(LSI 棟))が竣工し、さらなる半導体教育・研究の推進 における技術支援を行っていく。 ・ 人材育成:40年以上の実績をもつ「集積回路技術講習会」に加え、2023年度からは「俯瞰型高度半導体人材」共 創育成ワークショップ(CMOS フルプロセスコース)を開催し、高度半導体人材を輩出している。2025 年度から は文部科学省「半導体人材育成拠点形成事業(enSET) 東海地域半導体実践人材育成拠点」としての活動が始まっ ている。 ・ 研究基盤の高度化:文部科学省「先端研究基盤共用促進事業 新たな共用システム導入支援プログラム」(2017~ 2019 年度)の支援の下、半導体デバイス関連機器の共用化を推進するとともに、2025 年度からはマテリアル先端 リサーチインフラ(ARIM)事業に参画し、一気通貫の半導体製作装置を全国へ共用する体制を整備した。 ・ 研究支援:2022 年度からは文部科学省「次世代 X-nics 半導体創生拠点形成事業 集積 Green-niX 研究・人材育成 拠点」の中核連携機関として、国家戦略に直結する最先端デバイスの研究支援を担っている。 技術支援室の集合写真 (令和7年 10月 撮影) 197 II 転換の10年

RkJQdWJsaXNoZXIy NDY3NTA=